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微测辐射热计微桥结构性能分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chongqingyy

【摘 要】

：

微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计．重点研究了现在流行的几种微桥结构，对其性能参数进行分析比较，提出了多层结构的优点．并使用有限元分析软件对不同微桥进行

【作 者】

：

李素 吴志明 蒋亚东 杨晓瑜 李世彬 

【机 构】

：

电子科技大学光电信息学院

【出 处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

微测辐射热计 微桥结构 热参数 有限元 microbolometer microbridge structure  thermal parameter  fin 

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微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计．重点研究了现在流行的几种微桥结构，对其性能参数进行分析比较，提出了多层结构的优点．并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析，以比较其稳固性．

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