【摘 要】
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质量流量计（ＭＦＣ）广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响包括质量流量计
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质量流量计（ＭＦＣ）广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响包括质量流量计的设计 缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对工艺过程有较大影响。包括流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质量流量计提出了更高要求，根据质量流量计的设计机理和外围条件，分析了ＭＦＣ对相关气体工艺的影响，质量流量计带来的问
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