论文部分内容阅读
利用离子注入然后退火的方法制备了镶嵌有锗纳米晶的二氧化硅复合薄膜，从拉曼散射和透射电镜测量了解到薄膜中镶嵌有5～7nm大小的锗纳米晶层．研究了锗纳米晶层在常温和低温下的电输运性质．结果表明：锗纳米晶在100K-300K温度范围内符合莫特变程跳跃电导（VRH）导电，100K以下的低温电导基本上是一常数，导电主要是电子在相邻纳米晶之间的直接跃迁；经退火可消除离子注入引入的缺陷，能增加薄膜的电导；对由3×10^17cm^-2注量锗离子注入制备的薄膜观察到半导体向金属导电的转变．