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从溶胶制备、涂覆和热处理三个步骤介绍了溶胶－凝胶技术制备氧化物薄膜基本原理和工艺过程；对有关三个步骤的研究成果进行了综述。
溶胶—凝胶技术在氧化物薄膜制备方面的应用
【摘 要】
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从溶胶制备、涂覆和热处理三个步骤介绍了溶胶－凝胶技术制备氧化物薄膜基本原理和工艺过程；对有关三个步骤的研究成果进行了综述。
【机 构】
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天津城建学院
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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1996年5期
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