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主要简介了晶圆超薄化芯片减薄工艺的发展动态,讨论了现有设备基础上实现晶圆超薄化的局限性,提出了晶圆超薄化的工艺过程改进方案。
浅谈晶圆超薄化
【摘 要】
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主要简介了晶圆超薄化芯片减薄工艺的发展动态,讨论了现有设备基础上实现晶圆超薄化的局限性,提出了晶圆超薄化的工艺过程改进方案。
【机 构】
：
天水华天科技股份有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2014年4期
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