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以辉光放电质谱法对牌号为6063铝合金标样（E421a）中9个元素进行测定,获得每个元素的灵敏度因子（RSF）,并考察了辉光放电电流、放电氩气流速以及离子源冷却温度对RSF值的影响。实验结果表明,辉光放电电流和氩气流速对RSF值有明显的影响,离子源冷却温度对其没有影响。以获得的RSF值对6063铝合金标样另一个点（E422a）进行测定验证,测定值与标示值的相对误差在0.5%～5.6%之间,精密度（RSD）小于5%;以同样方法测定了一个7系铝合金样品中的相应元素,并与ICP-AES测定结果对比,结果的准确度