电泳沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3厚膜及其电学性能研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liujing6633
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采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST40)厚膜,研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性.实验结果表明:采用水热法制备纳米BST40粒子,经250MPa高压压制,950℃热处理后,BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹.ε—V特性表明,1kHz时厚膜调谐率可达59.2%.I-V特性表明,当电压从-25~25V变化时,漏导电流〈100μA/cm^2.测量了在1kHz,不同温度下厚膜的电滞回线.在0℃时,其剩余极化强度
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