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变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：HOHOHO66

【摘 要】

：

提出了采用相位扫描方法加工变栅距（VLS）光栅的基本原理，给出了VLS光栅刻划机的控制系统，并通过刻划实验对这一新方法进行了验证。

【作 者】

：

时轮 

【机 构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出 处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

变栅距 光栅 刻划机 控制系统 干涉仪 工作原理 微电子 varied-line space ( VLS ) gratings  ruling engine 

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提出了采用相位扫描方法加工变栅距（VLS）光栅的基本原理，给出了VLS光栅刻划机的控制系统，并通过刻划实验对这一新方法进行了验证。

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