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以纳米结构Y2O3稳定的ZrO2热喷涂粉末为原料，采用等离子喷涂法在Ti-6Al-4V合金上制备了纳米结构的热障涂层。利用扫描电镜（SEM）及扫描热显微镜（SThM）对涂层的微观组织及热性能进行了分析。在实验基础上建立了理论模型，并对涂层及基体的热导率进行了估算。结果表明：采用SThM分析方法估算的涂层厚度及涂层上的缺陷尺寸与采用其它分析方法测得的结果一致；虽然热导率的估算结果与采用其它方法得出的结果差异较大，但显示出扫描热显微镜分析是估算材料热导率潜在的方法。