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通过红外光谱仪测试、颗粒度检测与俄歇电子能谱(AES)对钼电极表面残留污染物的种类、状态、数量等情况进行了分析。结果表明清洗后的钼电极表面主要污染物为颗粒污染物和膜状污染物,99.7%的颗粒污染物为非金属污染物,99%颗粒粒度在50μm以下;膜状污染物主要为氧化膜、微量有机物和微量无机物。分析残留污染物的来源并给出污染物去除及清洁度维持的建议。