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本文针对ZnSe多晶的性能，在试验的基础上，研究出一套实用的、行之有效的ZnSe多晶加工工艺，并重点讨论了化学机械抛光工艺。同时对加工后零件的工艺参数、表面质量及透过率的测试，结果表明所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。
ZnSe多晶化学机械抛光研究
【摘 要】
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本文针对ZnSe多晶的性能，在试验的基础上，研究出一套实用的、行之有效的ZnSe多晶加工工艺，并重点讨论了化学机械抛光工艺。同时对加工后零件的工艺参数、表面质量及透过率的测试
【机 构】
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吉林师范大学信息技术学院,长春理工大学光学加工中心,长春理工大学材料与化工学院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2006年6期
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