单级悬浮工作台平面运动测量系统对准误差分析

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 11次 | 上传用户：greenosnake

【摘要】

：

为了得到单级6自由度悬浮工作台的运动学模型,将非接触驱动和支承等效为由万向联轴器、伸缩杆和平面运动副组成的支链,在移动台转角很小的情况下,平面运动与离面运动相互独立,且不受伸缩杆与基座表面垂直度误差的影响.基于欧拉转动定理,通过计算工作台在2个不同位置时光轴与反射镜镜面交点之间的距离,建立了工作台平面运动测量系统三维对准误差模型.测量误差的分布及其对误差源的灵敏度表明,二维对准误差分析方法忽略的离

【作者】

：

伍宏亮毛军红

【机构】

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西安交通大学润滑理论及轴承研究所

【出处】

：

西安交通大学学报

【发表日期】

：

2010年01期

【关键词】

：

误差分析悬浮工作台运动学模型对准误差 error analysis levitation stage kinematic model alignme

【基金项目】

：

国家教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目（NCET-05-0844）.

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