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为满足脉冲功率系统高性能、小型化的应用需求，设计并制作了聚酰亚胺膜为介质层、黄铜为金属层及聚全氟乙丙烯膜为介质层、不锈钢膜为金属层2种方案的微堆层绝缘子。基于Marx发生器及单同轴脉冲形成线的纳秒脉冲真空实验平台，对微堆层绝缘子的真空沿面闪络性能进行了测试。为了精确标定测量系统，利用输出脉冲幅值约20kV的磁脉冲压缩电源对测量系统进行了标定，得到的分压比为25133：1。对2种方案微堆层试样的测试结果表明，闪络发生在电压上升期间，最大真空沿面闪络场强接近180kV／cm。