论文部分内容阅读
数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片，它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM，从而控制无数多个微小镜片的翻转，实现掩模图形的数字化输出。结合高倍精缩投影系统，可快速实现图形转印。为进一步说明该技术的可行性，进行了实验验证。由于实验条件的限制，文中仅实现了2．2μm最小线宽的制作。利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜。