用改进双延迟线法测量SAW相速度

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双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单。从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度。主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个。对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据进行数字滤波后再做插值,以减小中心频率的测量误差;结合光学显微镜大视野和扫描电子显微镜(SEM)高精度的优点,提高距离测量精度。在128°Y-X铌酸锂基片上进行了实验,测量精度达到数米每秒。
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