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从ESD过程分析入手,对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析,介绍了4种静电放电模型,进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系,以确保静电防护的有效性。
微电子器件工业生产中的静电防护研究
【摘 要】
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从ESD过程分析入手,对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析,介绍了4种静电放电模型,进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系,以确
【机 构】
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南京国博电子有限公司,中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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河北科技大学学报
【发表日期】
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2011年S1期
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