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为分析材料去除的均匀性,利用ANSYS建立了固结磨料抛光过程中的三维应力场模型,得到了该抛光系统加载方式下工件表面的等效应力分布,并分析了各因素对去除均匀性的影响。针对现有加载方式下应力分布不均匀的现象,提出了两项加载方式的改进措施：加厚承载器和重新设计加载装置,并对加载装置的尺寸进行了优化。最后通过两组对比实验,证实了所提出的两项加载方式改进措施的有效性。