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利用双探针测试了微波ＥＣＲ等离子体参数，发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度，等离子体参数受气压影响亦很大．测量结果与理论分析一致．
微波ECR等离子体参数测量及分析
【摘 要】
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利用双探针测试了微波ＥＣＲ等离子体参数，发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度，等离子体参数受气压影响亦很大．测量结果与理论分析一致．
【机 构】
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佛山大学物理系
【出 处】
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佛山科学技术学院学报：社会科学版
【发表日期】
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1996年2期
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