【摘 要】
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新一代片上传感系统提出了微型化、集成化、低成本等发展需求，硅基集成波导器件适应其发展趋势，其中亚波长光栅结构因独特的模场分布特性在折射率传感领域备受青睐。文章首先对亚波长光栅波导的工作原理进行了介绍，阐述其在折射率传感领域的优势，然后按器件结构分类梳理了亚波长光栅结构折射率传感的最新研究进展，并分析和总结了不同器件结构的优缺点，最后展望了基于亚波长光栅结构的折射率传感未来的发展方向。
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61905022）； 吉林省教育厅科学技术研究项目（JJKH20220725KJ）；
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新一代片上传感系统提出了微型化、集成化、低成本等发展需求，硅基集成波导器件适应其发展趋势，其中亚波长光栅结构因独特的模场分布特性在折射率传感领域备受青睐。文章首先对亚波长光栅波导的工作原理进行了介绍，阐述其在折射率传感领域的优势，然后按器件结构分类梳理了亚波长光栅结构折射率传感的最新研究进展，并分析和总结了不同器件结构的优缺点，最后展望了基于亚波长光栅结构的折射率传感未来的发展方向。
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