碱土金属掺杂SnO<sub>2</sub>薄膜气体传感器

来源 :郑州轻工业学院学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suuuper4w
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经过真空镀锡膜、氧化和化学浸渍,制作了碱土金属掺杂SnO2薄膜气敏元件,并测试了元件的气敏特性.结果表明,元件对乙醇和丙酮气体灵敏度和选择性得到提高、而对苯、丁烷、液化石油气、氨气、氢气和煤气不敏感.
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