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在室温条件下，采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜，用原子力扫描显微镜（AFM）分析溅射功率、溅射真空室气压等工艺参数对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响；研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系。实验结果表明，在室温下，随着溅射功率增加，纳米Ag薄膜Ag粒子尺寸增大，功率为120W时，薄膜导电性能最好；随着反应气体压强增加，Ag粒子直径变小，薄膜的导电性能变差。