【摘 要】
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简述了重庆大学研制的原子力显微镜 (AFM )样机的工作原理和应用 ,重点介绍了其镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏 ,通过四维机械驱动和双压电陶瓷
【机 构】
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重庆大学数理学院,重庆大学科协,重庆工学院材料学院
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简述了重庆大学研制的原子力显微镜 (AFM )样机的工作原理和应用 ,重点介绍了其镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏 ,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描 ,有效提高了扫描精度 ,扩大了扫描范围 ,简单适用的微悬臂使操作大大简化。给出了用该机检测到的具有代表性的 4种样品的表面形貌图
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