微细电火花加工及其关键技术

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【摘要】

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综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小

【作者】

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【机构】

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哈尔滨工业大学机电学院

【出处】

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机械工程师

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

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综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小能量的脉冲电源、微小电极的运动轨迹规划、电极的损耗及补偿策略.展望了微细电火花加工在微三维结构加工中的应用前景.

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