【摘 要】
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本文采用等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）在室温条件下制备了具有双电层效应的二氧化硅（SiO2）固体电解质薄膜,并以此SiO2薄膜作为栅介质制备了氧化铟锌（IZO）双电层薄膜晶体管.本文系统地研究了SiO2固体电解质中的质子特性对双电层薄膜晶体管性能的影响,研究结果表明,经过纯水浸泡的SiO2固体电解质薄膜可以诱导出较多的可迁移质子,因此表现出较大的双电层电容.由于SiO2固体电解质薄膜具
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号:11474293）； 浙江省自然科学基金（批准号:LY14A040009）； 宁波市自然科学基金（批准号:2014A610145）； 上海理工大学国家项目（批准号:14XPM06）； 上海市自然科学基金（批准号:13ZR1
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本文采用等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）在室温条件下制备了具有双电层效应的二氧化硅（SiO2）固体电解质薄膜,并以此SiO2薄膜作为栅介质制备了氧化铟锌（IZO）双电层薄膜晶体管.本文系统地研究了SiO2固体电解质中的质子特性对双电层薄膜晶体管性能的影响,研究结果表明,经过纯水浸泡的SiO2固体电解质薄膜可以诱导出较多的可迁移质子,因此表现出较大的双电层电容.由于SiO2固体电解质薄膜具有质子迁移特性,晶体管的转移特性曲线呈现出逆时针方向的洄滞现象,并且这一洄滞效应随着栅极电压扫描速率的增加而增大.进一步对薄膜晶体管的偏压稳定性进行测试,发现晶体管的阈值电压的变化遵循了拉升指数函数（stretched exponential function）关系.
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