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为帮助客户应对亚65纳米及45纳米技术节点上新产生的缺陷和成品率挑战．KLA-Tencor（KLAC）近日发布了最新的突破性明场晶片检测平台2800系列，它能有效地检测出所有工艺层上的最广泛的关键性缺陷。2800系列提供了超宽带（深紫外、紫外和可见光）波长检查功能，
KLA-TENCOR发布业界首个全光谱超宽带检测平台的明场检测系统
【摘 要】
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为帮助客户应对亚65纳米及45纳米技术节点上新产生的缺陷和成品率挑战．KLA-Tencor（KLAC）近日发布了最新的突破性明场晶片检测平台2800系列，它能有效地检测出所有工艺层上的最广泛
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2005年9期
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