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为实现一维相移干涉图的实时处理，采用了三阶式相移方式对干涉图数据进行自动采集和分析，并由计算机直接给出最后结果。文中通过实例分析表明，对口径为１１０ｍｍ、焦距为９６１ｍｍ的抛物面形非球面，在计算口径内最大误差为０．２６４５λ，均方差为０．１０９３λ，面形检测精度达０．１μｍ。
一维相移剪切干涉图的实时处理
【摘 要】
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为实现一维相移干涉图的实时处理，采用了三阶式相移方式对干涉图数据进行自动采集和分析，并由计算机直接给出最后结果。文中通过实例分析表明，对口径为１１０ｍｍ、焦距为９６１ｍｍ的抛物面形非球面
【机 构】
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西安工业学院仪器工程系
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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1998年4期
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