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介绍了一种新的外差干涉信号处理方法－相位及相位整数测量法。用此方法不仅可使干涉测量的分辨率提高到λ／１０００－λ／２０００，而且扩大了测量范围，解决了大范围、动态测量位移的问题。文中还给出了用此方法进行信号处理的外差干涉仪测量压电陶瓷动态位移的实验结果。
一种新的外差干涉信号处理方法—相位及相位整数测量法
【摘 要】
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介绍了一种新的外差干涉信号处理方法－相位及相位整数测量法。用此方法不仅可使干涉测量的分辨率提高到λ／１０００－λ／２０００，而且扩大了测量范围，解决了大范围、动态测量位移的问题。文中还给出
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1995年1期
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