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本文探讨了一种用全息透射式衍射光栅作分束器的斜入射干涉方法和装置,该装置主要用于非光学表面的粗糙度检测,整个装置结构简单,易于配置且具有很好的稳定性.
采用全息光栅作分束器的斜入射干涉仪
【摘 要】
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本文探讨了一种用全息透射式衍射光栅作分束器的斜入射干涉方法和装置,该装置主要用于非光学表面的粗糙度检测,整个装置结构简单,易于配置且具有很好的稳定性.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1990年10期
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