离子镀厚金膜过渡层的研究

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sotfft
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通过对电弧离子镀厚金膜工艺过渡层的深入研究,得出了采用离子轰击清洗、Ni-Cu过渡层和镀膜室内热处理是离子镀厚金膜的工艺路线,通过一次装炉实现了制备Ni-Cu过渡层、沉积金膜、热处理和金膜增厚等工序一次完成.经过现场实验,摩擦副的往复运动次数在运动速度2.5 m/s时超过120次,完全满足要求.
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