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通过实验分析了射频等离子体自偏压的产生及与电子密度、电子温度的关系和对聚合成膜质量的影响并探讨了其机制,指出产生自偏压可明显改善等离子体聚合成膜质量,这是由于自偏压提高了等离子体中电子温度和电子密度的结果.在直接利用等离子体进行聚合反应制备薄膜时,应根据装置条件选择合适的自偏压值.
射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响
【摘 要】
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通过实验分析了射频等离子体自偏压的产生及与电子密度、电子温度的关系和对聚合成膜质量的影响并探讨了其机制,指出产生自偏压可明显改善等离子体聚合成膜质量,这是由于自偏
【机 构】
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北京印刷学院
【出 处】
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北京印刷学院学报
【发表日期】
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2003年4期
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