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利用紫外激光对硅材料进行加工时需要估算硅材料表面剥离深度、温度分布与入射光功率密度的关系.激光与硅材料相互作用涉及多种复杂的物理现象,直接利用现有理论进行计算,确定相应的温度分布和剥离深度十分困难.文章探讨了在不同功率密度范围内,根据激光与物质相互作用主要形式的不同,建立相应的估算方法.实践证明,在一定功率密度范围内,估算值较好地符合了实验测定数据.