利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a82345678

【摘要】

：

利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得

【作者】

：

李芳王杰王丹阳莫党陈王丽华

【机构】

：

中山大学,香港理工大学应用物理系,中山大学

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

电光系数椭偏仪折射率 PLZT薄膜透射椭偏测量反射制式调制掺镧 electro-optic index ellipsometer PLZT th

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利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变δn.最后用测量得到的厚度,折射率以及折射率的改变来计算薄膜的电光系数.该仪器的灵敏度很高,很适合较薄的膜层材料电光性质的测量.

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