【摘 要】
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以TiCl4,SrCl2.6H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出掺Al3+的钛酸锶薄膜,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成,并比较了铝含量不同的SrTi1-xAlxO3-δ薄膜的氧敏性能.实验结果表
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以TiCl4,SrCl2.6H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出掺Al3+的钛酸锶薄膜,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成,并比较了铝含量不同的SrTi1-xAlxO3-δ薄膜的氧敏性能.实验结果表明:掺摩尔分数为0.01的铝的钛酸锶薄膜表现出较高的氧敏性,但是,铝的掺入并没有消除钛酸锶薄膜的半导特性在中性气氛附近从n型向p型转变.在此基础上,又合成了SrTi0.99Al0.01O3-δ-CrOx复合膜氧敏材料,该复合膜在700 ℃下可掩盖SrTi0.99Al0.01O3-δ薄膜的半导特性从n型向p型转变.
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