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在脉冲TEA CO2激光器中采用角隅反射镜作为全反镜,平行平面镜作为输出镜组成新型激光谐振腔。本文重点研究了角隅谐振腔气体激光器的抗失调特性,并与平凹腔气体激光器进行了对比。在平面输出镜失调角同为6角分时,实验结果表明若平凹腔激光器的单脉冲输出能量下降47%,角隅腔激光器的单脉冲输出能量仅下降8%,且近场光斑光强分布没有明显变化。当砷化镓输出镜透过率分别为7l%、40%和30%时,角隅腔激光器的单脉冲输出能量分别为6.46J、4.6J和3.4J。使用模式仪测量,其结果表明:角隅腔激光器近场光强分布均匀。