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采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面，在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下，可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀，扫描离子成像等功能。该系统有三大用途：形貌观察，分辨率高达5nm；微刻蚀以及微沉淀。本文介绍了FIB技术的应用。
高性能聚焦离子束（FIB）系统及其在材料科学领域的应用
【摘 要】
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采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面，在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下，可分别实现图形刻蚀、绝缘和金
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学国家教育部高温材料及高温测试重点实验室
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2004年9期
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