集成电路用高纯金属材料及高性能溅射靶材制备研究进展

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<正>一、概述集成电路产业作为电子信息产业的核心,是关系国民经济和社会发展的具有基础性和先导性的战略性产业,一直受到国家的高度重视。2014年是我国集成电路产业发展历程中具有里程碑意义的一年,国务院发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立国家集成电路产业投资基金,对于集成电路产业的扶植力度空前加强,整个产业将迎来最快的发展阶段。在可以预见的未来,集成电路产业将成为支撑自主可控信息产业的核心力量
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