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铜铟镓硒靶材样品采用硝酸-盐酸(3+1)混合液低温电热板消解,采用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定样品溶液中镓的含量。镓、钇的分析谱线分别为417.2,371.0nm,以钇为内标物。镓的线性范围在100mg·L^(-1)以内,方法的检出限(3s)为0.14mg·L^(-1)。方法用于铜铟镓硒靶材样品的分析,加标回收率为97.5%~104%,测定值的相对标准偏差(n=11)为0.31%~1.8%。