【摘 要】
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本文介绍一个用于电子束曝光机的数字控制装置,它配备DJS130电子计算机标准接口,不但对电子束曝光机的束点偏移、束闸通断、工作台运动等必要部分进行控制,而且大大增加了图
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本文介绍一个用于电子束曝光机的数字控制装置,它配备DJS130电子计算机标准接口,不但对电子束曝光机的束点偏移、束闸通断、工作台运动等必要部分进行控制,而且大大增加了图形扫描和工作台定位控制方式,从而可以提高加工精度和速度,此外还设计了一些试验性的控制功能,从而为电子束曝光机的进一步研究提供了方便。
This article describes a digital control unit for electron beam lithography machines equipped with the DJS130 standard computer interface that controls not only the beam spot shift, beam-off, table movement and other necessary parts of an electron beam lithography machine, Added graphical scanning and table positioning control, which can improve the processing accuracy and speed, in addition to design some experimental control functions, which for the further study of electron beam exposure machine provides a convenient.
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