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采用射频溅射工艺，在石英基片上制备了未掺和掺Al浓度分别为5％、10％、15％及20％（原子分数）的氧化锌（AZO）薄膜。研究了薄膜的结构和光学性质，结果表明，所制备的薄膜具有c轴择优取向，随着Al浓度的增加，薄膜光学吸收边蓝移。在薄膜上真空蒸发沉积金叉指电极制备了MSM结构光电导紫外探测器，光谱响应测试表明，在5V偏压下掺Al浓度为5％的探测器在375nm紫外光照下响应度为37A／W，对400nm以上可见光响应度减小了1个数量级。