论文部分内容阅读
提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法，介绍了测量系统各部分的结构，给出了测量结果．实验表明，对于硅片上的PbTiO3薄膜，测试误差小于7nm．
三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用
【摘 要】
：
提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法，介绍了测量系统各部分的结构，给出了测量结果．实验表明，对于硅片上的PbTiO3薄膜，测试误差小于7nm．
【机 构】
：
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所,空军工程大学工程学院
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
：
2004年1期
其他文献
根据多普勒频移理论,应用MATLAB软件编程,模拟声信号发射与接收的频率变化,通过改变观察者的运动速度、波源的运动速度、以及同时改变两者的运动速度及其方向,观察到了频率移
介绍了一种利用断点调试进行Visual C＋＋6.0坐标变换教学的方法。通过在关键语句处设置断点,帮助学生观察视窗中同一位置逻辑坐标与设备坐标的不同,有助于他们对这一知识难点的
碳点自发现以来因其优越的发光性能引起不同领域科学家的广泛关注,碳点具有制备工艺简单、发光波长易调节、耐光漂白、生物相容性好等优点,在光电转换、光催化、生物标记等众
国内众多综合性大学基于学科发展与人才培养的需要, 增设艺术学科, 并参照理工学科实验室建制成立实验教学中心, 实行实验系列的统一化管理. 然而, 在艺术实验教学与管理的工
以重庆电力高等专科学校的重点建设专业电力系统继电保护及其自动化专业为例,讨论了该专业发电厂自动装置实训基地建设的必要性,提出了该实训基地建设的建设目标、教学定位、