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尝试使用一种新的工艺--旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷.得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋涂方法得到高品质微纳米级图案的结论.
基于旋涂的纳米压印技术研究
【摘 要】
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尝试使用一种新的工艺--旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷.得出在精确控制实验
【机 构】
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薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2005年4期
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