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本文从光学测量系统对准误差的分析入手,研究了直边像弥散的“等效线宽”δ和系统的“等效带宽”B_(eq)间的相互制约关系——光学系统的测不准关系式,并给出了显微物镜的测量结果.δ和B_(eq).可以作为小像差光学系统的像质评价指标.
光学系统的测不准关系式和等效带宽
【摘 要】
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本文从光学测量系统对准误差的分析入手,研究了直边像弥散的“等效线宽”δ和系统的“等效带宽”B_(eq)间的相互制约关系——光学系统的测不准关系式,并给出了显微物镜的测量结果.δ和B_(eq).可以作为小像差光学系统的像质评价指标.
【机 构】
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北京信息光学仪器研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1986年6期
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