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本文简单的介绍IC级晶锭FAEMS的原理,及与FAMS[1]在硅片总厚度差翘曲度表面质量的对比试验,验证加入电解后,FAEMS可以更好的改善切割工艺,提高加工质量和效率。
IC级晶锭游离磨料电解磨削多线切割工艺（FAEMS）研究
【摘 要】
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本文简单的介绍IC级晶锭FAEMS的原理,及与FAMS[1]在硅片总厚度差翘曲度表面质量的对比试验,验证加入电解后,FAEMS可以更好的改善切割工艺,提高加工质量和效率。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2017年11期
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