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综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理、特点,着重分析了脉冲激光沉积技术的研究现状和在功能薄膜制备中的应用前景。大量研究表明,脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜方法之一。
脉冲激光沉积(PLD)技术及其应用研究
【摘 要】
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综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理、特点,着重分析了脉冲激光沉积技术的研究现状和在功能薄膜制备中的应用前景。大量研究表明,脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜
【机 构】
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西北工业大学,西北工业大学
【出 处】
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空军工程大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年03期
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