【摘 要】
：
提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,中国科学院大学,上海微电子装备有限公司,
论文部分内容阅读
提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像,从而提高了像差检测模型的精度,实现了超大数值孔径光刻机投影物镜33项泽尼克像差(Z5~Z37)的高精度检测。相比于原基于空间像主成分分析的投影物镜成像差检测技术(AMAI-PCA)方法,所提方法适用于超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测。采用光刻仿真软件PROLITH对所提方法的检测精度进行了仿真验证,并分析了空间像采样间隔对波像差检测精度的影响。仿真结果表明,该方法对泽尼克像差(Z5~Z37)的检测精度优于0.85×10-3λ。
其他文献
晚期尿路上皮癌患者的临床预后较差,没有几例患者在确诊后可以活过5年,以顺铂为主的一线化疗可以提高患者的总生存期,但是绝大多数患者都出现疾病进展。以顺铂为主的一线化疗
创新是一个企业进步的灵魂,是体现企业核心竞争力的重要表现,是企业可以在激烈的竞争中脱颖而出的关键。当今时代是以信息技术为主体的知识经济时代,科学技术日新月异,这就导
文章以"计算机信息管理应用基础"课程的传统教学模式的不足引出信息化教学模式,阐述了该课程信息化教学模式的设计过程,评价了教学实践的效果。
调查研究不仅是党的根本工作方法,也是领导干部必须具备的能力之一。长期以来,我们只是将调查研究作为一种工作方法来研究,对调查研究能力的认识不够深刻。新时期关于调查研
我叫刘延成,安徽省滁州市施集乡人,现任滁州城郊供电公司清流、南谯两个供电所所长.先后担任过施集、李集、城郊、章广、沙河、南谯、清流7个乡镇供电所所长.每次调动,都是在
考虑到果蔬茶等农业产业耕地面源污染日益严重,基于新疆甜瓜种植农户调研数据,运用典型相关分析模型,对农户经营行为与耕地面源污染的关系进行实证分析.研究结果显示,新疆耕
随着时代的发展,科技成果遍布人们生活,各种媒体方式层出不穷,而报纸作为传统媒体,在时代中不断受到冲击而进行改革,从传统的采编方式逐渐转化为更加具有针对性的专刊专版方
<正>扬琴流传到我国已有四百多年的历史,从民间的伴奏乐器逐步发展成为在高等艺术院校中作为独立专业开设经历了漫漫长路,并形成具有世界影响的中国扬琴体系。曾被世界扬琴学
第一部分基于体素的形态测量学分析在震颤麻痹型多系统萎缩诊断及与特发性帕金森病鉴别诊断中的应用目的对震颤麻痹型多系统萎缩(MSA-P)患者和特发性帕金森病(IPD)患者进行基
针对某些城市信号交叉口各流向交通流量分布不均导致的左转车道拥挤问题,为减少交叉口的道路资源浪费,提出在交叉口出口道设置左转专用可变车道的交通组织方法。结合已有理论