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三氯氢硅是西门子法生产多晶硅、 集成电路用硅基电子气体和有机硅的重要原材料.随着光伏和集成 电路的快速发展, 制备髙品质三氯氢硅已经成为一个研究热点, 本文概述了精馏法、 吸附法的机理及研究现状, 重点介绍了反应精馏提纯三氯氢硅的研究现状和制备方法, 并对髙纯三氯氢硅提纯的前景进行了分析和展望.