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本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了目前我国微通道板与世界强国之间的差距.
微通道板技术
【摘 要】
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本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了
【机 构】
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国家教育部"仪器科学与动态测试"重点实验室,华北工学院电子科学与技术系(太原)
【出 处】
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中国兵工学会第十二届测试技术学术年会
【发表日期】
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2004年8期
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