【摘 要】
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利用有机碳源(二甲苯),采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳(a-C:H)薄膜样品.与利用甲烷(CH4)制备的a-C:H不同,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范
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利用有机碳源(二甲苯),采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳(a-C:H)薄膜样品.与利用甲烷(CH4)制备的a-C:H不同,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构,而不是表现为一个较宽的单峰.同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化.认为:a-C:H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心,导致PL谱中新峰位的出现.
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