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GaAs MEMS微波功率传感器的设计与模拟

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shshay

【摘 要】

：

已有的微机械直接加热终端式微波功率传感器是基于CMOS工艺的，该结构基于GaAs MMIC工艺，它可以与GaAs如微波电路实现单片集成。它的基本工作原理是热电效应，制备中使用了GaAs体

【作 者】

：

陈宁娟 廖小平 

【机 构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出 处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

MEMS 微波功率 热偶 MEMS  microwave power  thermocouple 

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已有的微机械直接加热终端式微波功率传感器是基于CMOS工艺的，该结构基于GaAs MMIC工艺，它可以与GaAs如微波电路实现单片集成。它的基本工作原理是热电效应，制备中使用了GaAs体加工技术来减少热量损失,并用软件对其温度场和反射系数进行了模拟。该传感器用于X波段，它的输入功率是0到50mW，灵敏度为0.54V／W，输入端S11参数约为-15dB．

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