【摘 要】
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用透射电镜研究了热丝增强式化学气相沉积(HFECVD)金刚石薄膜和界面的微观结构及生长方式。Plane-view 样品观察表明,不同颜色薄膜的内部晶粒尺寸、缺陷类型及生长方式不同。
【机 构】
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冶金部钢铁研究总院,人工晶体研究所,
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用透射电镜研究了热丝增强式化学气相沉积(HFECVD)金刚石薄膜和界面的微观结构及生长方式。Plane-view 样品观察表明,不同颜色薄膜的内部晶粒尺寸、缺陷类型及生长方式不同。主要有两类:一类以五次孪生方式生长;另一类是位错和微孪晶共存生长。Gross-section 样品观察表明,衬底单晶硅和金刚石多晶薄膜之间存在一层厚度为0.2—0.8μm的非晶过渡层,金刚石膜在过渡层成核。
The microstructures and growth modes of HFECVD diamond films and interfaces were investigated by transmission electron microscopy. Plane-view sample observations show that different color films have different internal grain sizes, defect types and growth patterns. There are two main types: one is growth in five twins; the other is growth of dislocations and micro-twins. Gross-section sample observation shows that there is a layer of amorphous transitional layer with a thickness of 0.2-0.8μm between the single crystal silicon substrate and the polycrystalline diamond film, and the diamond film nucleates in the transition layer.
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